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4英寸纳米压印机的技术与工艺特点,*性地设计和制备工作于低真空环境下,结合正负压可控调节并利用压缩空气作为压印驱动力的,通过压力传导装置、缓冲与匀压、压力调节控制装置等手段实现平稳可靠可控的压印过程,借助于多种灵活的自动调节装置的巧妙设计与运用,实现压印中的自动找平调控,以保证模板纳米图案均匀精确的大面积复制转移。
纳米压印的技术与工艺特点,*性地设计和制备工作于低真空环境下,结合正负压可控调节并利用压缩空气作为压印驱动力的,通过压力传导装置、缓冲与匀压、压力调节控制装置等手段实现平稳可靠可控的压印过程,借助于多种灵活的自动调节装置的巧妙设计与运用,实现压印中的自动找平调控,以保证模板纳米图案均匀精确的大面积复制转移。