全自动步进重复式激光干涉光刻机VIL 1000纳米光刻系统具有全自动光路重构、动态锁相、高精度步进重复曝光等强大功 能。在放置旋涂好光刻胶的 晶圆后,无需任何手动设置或调整,我们的自动化系统可以在2 ...
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产品分类021-64283335
全自动步进重复式激光干涉光刻机VIL 1000纳米光刻系统具有全自动光路重构、动态锁相、高精度步进重复曝光等强大功 能。在放置旋涂好光刻胶的 晶圆后,无需任何手动设置或调整,我们的自动化系统可以在2 ...
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