德国SURFACE超高真空脉冲激光镀膜系统

 德国SURFACE超高真空脉冲激光镀膜系统

        德国SURFACE公司自1993年起就从事脉冲激光沉积镀膜系统（PLD）的研发和制造工作，在这期间SURFACE公司不但向市场提供了标准的PLD系统，而且也提供专门为客户订制的PLD系统。经过了这么多年的发展，SURFACE公司开发出许多能够满足客户需求的产品和技术。

1、SURFACE基底运载系统

对机械来说，热均匀和热隔离的有效性是十分重要的。这其中，精确的热电偶是关键的质量因素。SURFACE常规电阻1英寸基底运载器、嵌入式Omicron原子力基底夹、热电偶直接嵌入基底运载系统，30mm的基底中间区域、基底和银酱一起安装在激光切边运载器上。运载系统可转换并直接嵌入热电偶这保证大多数的温度测量。

2、靶切换系统

超高真空技术需要反应釜通过一个负载锁的腔体进行相互作用。从一开始，SURFACE就意识到这一点，并设计了一个靶转盘来实现这一需求。多层盖板避免了强热的基底转移到靶材。所有靶材是受保护，以防止交叉污染。盖板能够非常容易地被更换，无需工具。靶材将通过磁场操纵或位于*转移腔的内部转移操纵手被转移。该耦合和靶材的精确检索是自动完成的。靶转盘和切换动力保证了均质烧蚀过程。

3、模块化的系统概念

SURFACE公司多年来一直从事于研发超高真空材料科学系统。在大多数情况下，一个系统的工作负载起始于一个单一的过程控制，往往过了一段时间以后，客户的需求会增多。为了通过附加的过程控制提升整套设备的功能，SURFACE公司认识到需要用完整的模块化概念来解决这个问题。从向市场提供单一的腔体加上负载锁，一直到提供更多的扩展，而不需要冒任何将来转换而产生的风险。