非接触式优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触，保护了测量装置，同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。 Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。

Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济三维光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。 我司有此机器可测样。

从产品研发到质量控制，该系统可以用于从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。白光干涉原理。

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪P17。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力2D和3D测量，扫描可达200mm无需图像拼接。结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，有出色测量稳定性。