看完本篇你就知道什么是圆探针式台阶仪了

更新时间：2022-07-14

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　　台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

　　其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

　　传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

　　圆探针式台阶仪主要用于材料的结构及表面解析，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。

　　同时按照应用的领域不同，要求不同，台阶仪的型号也多种多样，下面以我们优尼康提供的一款型号为P-17的台阶仪为例，简单介绍下这款仪器的功能以及应用，以供大家参考了解台阶仪可以做什么，有哪些功能，该型号为常用款，如有更高需求也可以咨询我们，会为大家推荐更合适的机台。

　　通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及光学变焦相机等功能，程序设置简便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可支持2D或3D测量。图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

　　圆探针式台阶仪的设备特点如下：

　　台阶高度：几纳米至1000μm

　　微力恒力控制：0.03至50mg

　　样品全直径扫描，无需图像拼接

　　视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

　　圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

　　软件：简单易用的软件界面

　　生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化